Especialistas en Salas Blancas - Establecidos en el Reino Unido en 2003

ESTUDIO DE CASO DE SALA LIMPIA

ACADEMIA | NANOTECNOLOGÍA

Nanofabricación

ISO 14644-1 | ISO Clase 5 y 6

180m2

Arabia Saudita

Diseño | Suministro | Instalación | Puesta en Marcha | Pruebas de Calificación

Resumen del cliente

La introducción de nuevas herramientas de proceso para una mayor eficiencia exigió la necesidad de añadir una extensión de sala limpia ISO Clase 5 a la suite de sala limpia existente para albergar el proceso de fotolitografía para la fabricación de biotecnología.

Solución Nano Limpia

La nueva ampliación de la sala limpia fue diseñada para interactuar con la suite original y utilizar las instalaciones comunes de vestuario.

Siendo el área más limpia de la suite, la nueva área ISO Clase 5 fue diseñada para tener +10Pa con respecto al espacio adyacente ISO clase 6.

Estructura de la Sala Limpia

  • Para minimizar el tiempo de instalación, la envolvente de la sala limpia fue diseñada como una estructura prefabricada y autoportante. Los módulos de pared fueron formados por perfiles de aluminio extruido con paneles de relleno compuestos con revestimiento de aluminio.
  • La losa del suelo del edificio principal existente se soló y se colocó vinilo antiestático en láminas. El suelo de vinilo creó un detalle de cala autoformada en la interfaz pared/suelo. Las juntas a tope del vinilo en láminas se soldaron térmicamente para crear un acabado esencialmente monolítico.
  • El techo se formó a partir de una rejilla en T de aluminio extruido transitable suspendida de varillas colgantes de las vigas de unión de luz libre autoportantes.
  • La rejilla del techo albergaba FFM (módulos de ventilador con filtro HEPA) y baldosas de relleno. La tapa del plenum se formó a partir de paneles aislantes con revestimiento de aluminio.

Servicios Mecánicos

  • El aire se suministró a la Sala Limpia a través de FFM EC (conmutación electrónica) H14 montados en el techo desde el plenum de suministro. Una parte del aire se recirculó a través de rejillas de retorno de aire de bajo nivel en el conducto de retorno de aire, de vuelta al plenum de suministro, donde se mezcló con una parte de aire de reposición prefiltrado.
  • La refrigeración se proporcionó a través de unidades de refrigeración monobloque DX (expansión directa) para compensar el proceso y la ganancia de calor del aire de reposición.

Servicios Eléctricos

  • La energía eléctrica se suministró desde un nuevo cuadro de distribución (DB) local a luminarias tipo lágrima, tomas de corriente, FFM y unidades DX monobloque.
  • Para proteger el proceso de fotolitografía de la luz UV (ultravioleta), los paneles de visión de las puertas se equiparon con película de control UV de color ámbar y la iluminación tipo lágrima se equipó con LED de longitud de onda de 500 nm.

Conclusión

La estructura prefabricada aseguró una interrupción mínima de la producción durante la instalación.

Al utilizar ventiladores EC direccionales y energéticamente eficientes, la puesta en marcha del flujo de aire se simplificó, ya que todos los FFM se agruparon. Esto permitió un ajuste preciso del caudal en todo el grupo FFM mediante un punto de ajuste común, en lugar de realizar ajustes individuales en los FFM y múltiples nuevas mediciones.

El enfriamiento monobloque DX proporcionó un medio rentable de enfriamiento sin la necesidad de condensadores exteriores y tuberías de refrigerante interconectadas.

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